长江存储申请三维存储器及其制备方法专利,提升三维存储器的良品率
创始人
2026-02-28 17:16:39
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国家知识产权局信息显示,长江存储科技有限责任公司申请一项名为“三维存储器及其制备方法”的专利,公开号CN121586261A,申请日期为2021年11月。

专利摘要显示,本公开提供了一种三维存储器及其制备方法,涉及半导体芯片技术领域,旨在提升三维存储器的良品率。所述制备方法包括:制备半导体结构;去除第二介质层中覆盖栅线缝隙的侧壁的部分;在栅线缝隙内形成填充结构;去除衬底;在叠层结构的去除衬底的一侧形成源极层。其中,半导体结构包括:衬底,及设置于衬底上的叠层结构。叠层结构包括交替设置的第一介质层和栅极层。半导体结构还包括栅线缝隙和第二介质层,栅线缝隙沿垂直于衬底的方向贯穿叠层结构并延伸至衬底内,第二介质层位于第一介质层和栅极层之间,并且覆盖栅线缝隙的侧壁。本公开用于制备三维存储器。

天眼查资料显示,长江存储科技有限责任公司,成立于2016年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12469608.0404万人民币。通过天眼查大数据分析,长江存储科技有限责任公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目1445次,财产线索方面有商标信息975条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可1005个。

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来源:市场资讯

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