中微半导体申请MOCVD设备及卫星盘自转测量方法专利，提高各基片成膜的均一性_元器件

中微半导体申请MOCVD设备及卫星盘自转测量方法专利，提高各基片成膜的均一性

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2026-06-20 14:48:24

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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种MOCVD设备及卫星盘自转测量方法”的专利，公开号CN122235676A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种MOCVD设备及卫星盘自转测量方法，MOCVD设备包括内设有行星盘反应腔、图像采集装置、图像采集控制模块和图像处理模块，行星盘上设有卫星盘，卫星盘上设有至少一个标记；图像采集装置用于采集标记上的局部图像；图像采集控制模块控制图像采集装置采集图像；图像处理模块接收图像采集装置连续采集的多帧局部图像并拼接为连续图像以判断卫星盘的自转状态。本发明的MOCVD设备及卫星盘自转测量方法，通过设置图像采集装置连续采集局部图像，并对局部图像进行拼接以判断行星盘是否自转，并针对各行星盘的自转情况进行调整，实现对各行星盘自转速率的调整，使得各行星盘上承载的基片的自转速率的统一，提高各基片成膜的均一性。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目87次，财产线索方面有商标信息85条，专利信息1706条，此外企业还拥有行政许可88个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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