尚积半导体取得晶圆传输平台专利,具有结构简单易于生产检修的优点
创始人
2026-01-12 11:39:33
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国家知识产权局信息显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆传输平台”的专利,授权公告号CN223782067U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆传输平台,包括工艺舱件,所述工艺舱件的一侧固定连接有密封机构,所述密封机构的一侧固定连接有传输机构;所述密封机构包括第一壳体,所述第一壳体的下端为斜面,并且该斜面贴合在工艺舱件的斜面上,所述第一壳体的内部设置有密封板,所述第一壳体的上端固定连接有气缸;所述输送装置包括第二壳体,所述第二壳体的内部滑动设置有滑块,所述滑块的一侧固定连接有机械手,所述滑块的上端固定连接圆柱,所述第二壳体的下端固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定连接有推杆,所述推杆中部设置有槽孔,并且圆柱配合在槽孔中。本发明,具有结构简单,易于生产检修的优点。

天眼查资料显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2166.4515万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡尚积半导体科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目21次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息175条,此外企业还拥有行政许可16个。

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来源:市场资讯

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