新微半导体申请电场辅助p型氮化物半导体掺杂激活方法专利，提高受主激活效率与均匀性_微电子

新微半导体申请电场辅助p型氮化物半导体掺杂激活方法专利，提高受主激活效率与均匀性

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2026-07-03 18:49:57

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国家知识产权局信息显示，上海新微半导体有限公司申请一项名为“一种电场辅助的p型氮化物半导体掺杂激活方法”的专利，公开号CN122341183A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明提供一种电场辅助的p型氮化物半导体掺杂激活方法，该激活方法包括步骤：提供一半导体结构，半导体结构至少包括一P型氮化物层，对半导体结构进行退火处理，且在结构的退火过程中，对P型氮化物层的外侧施加一电场，电场的方向由P型氮化物层的内部指向P型氮化物层的外部。相比现有热退火激活受限于高温且激活率不均的问题，本发明的电场辅助的p型氮化物半导体掺杂激活方法通过电场力和高温的协同下，能够有效降低Mg‑H键断裂所需的热能阈值，从而可以在较低温度区间或较短退火时间内，提高P型氮化物半导体中受主激活效率与均匀性，避免高温工艺对器件结构的损伤，提升器件的可靠性和制造良率，同时具有较强的工艺兼容性。

天眼查资料显示，上海新微半导体有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本270950万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新微半导体有限公司参与招投标项目863次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息165条，此外企业还拥有行政许可98个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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