国家知识产权局信息显示,上海积塔半导体有限公司取得一项名为“一种研磨保持环”的专利,授权公告号CN224027298U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种研磨保持环,所述研磨保持环包括晶圆限位件和若干滚珠,所述晶圆限位件形成有用于套设于晶圆外的圆形通孔;所述晶圆限位件的高度与晶圆厚度匹配;所述晶圆限位件还形成有用于容纳滚珠的滚珠限位槽,所述滚珠限位于所述滚珠限位槽内,部分凸出于晶圆限位件的底面,所述滚珠限位槽与滚珠间隙连接,以使得滚珠在滚珠限位槽内仅能自转。本申请所述滚珠凸出于晶圆限位件的底面,使得所述研磨保持环与研磨垫接触时,滚珠陷入研磨垫,研磨头的压力主要分布于滚珠上;而晶圆限位件与研磨垫仅接触,所受压力较小,使得晶圆限位件底面与研磨垫之间的摩擦损耗较小,延长所述研磨保持环的使用寿命。
天眼查资料显示,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1790638.7534万人民币。通过天眼查大数据分析,上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1962次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息1345条,此外企业还拥有行政许可201个。
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