北方华创申请磁场调节装置及半导体加工设备专利，可调节磁控管形成的磁场强度分布
创始人
2025-12-01 18:07:03
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“磁场调节装置及半导体加工设备”的专利，公开号CN121023437A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，本发明提供一种磁场调节装置及半导体加工设备，应用于半导体加工设备，磁场调节装置设置于靶材上方，且位于磁控管下方，磁场调节装置包括至少一个具有预设磁导率的导磁介质，各导磁介质与靶材表面或工艺腔室的指定区域分别对应，用于减弱磁控管形成的磁场在对应的指定区域处的磁场强度。本方案可以对磁控管形成的磁场强度分布进行调节，以满足诸如靶材腐蚀轮廓、薄膜沉积均匀性、靶材电压和等离子体分布等的要求。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1266次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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