新凯来申请接地环、半导体设备及其拆卸方法专利，提升接地环的维护效率
创始人
2026-08-21 09:34:36
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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“接地环、半导体设备及其拆卸方法”的专利，公开号CN122620169A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本申请公开一种接地环、半导体设备及其拆卸方法，涉及半导体设备技术领域。接地环用于设置于半导体设备的卡盘下方。接地环包括至少两个能够分离设置的接地段，接地段与卡盘可拆卸连接以使得接地段拆卸后能够从半导体设备的腔壳的侧壁的窗口取出，接地段用于沿卡盘的周缘设置，相邻的两个接地段中的一个接地段的一端与相邻的两个接地段中的另一个接地段的一端沿接地环的周向相接。需要对接地环进行维护时，可以将从卡盘拆卸下来的接地段从窗口移出半导体设备，提升接地环的维护效率。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息339条，此外企业还拥有行政许可15个。
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来源：市场资讯
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