盛美半导体申请晶圆检测方法和装置专利，能够准确检测晶圆是否有缺陷
创始人
2026-03-11 15:26:28
0次
国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“晶圆检测方法和装置”的专利，公开号CN121632974A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请的实施例提供了一种晶圆检测方法及装置，包括保持晶圆旋转，移动检测器，以使检测器在晶圆边缘和距离晶圆边缘第一宽度的位置之间移动，通过检测落入检测器的检测区内晶圆的颜色值确定检测区内的晶圆是否有缺陷；其中，在检测器的移动过程中，检测区的运动轨迹在晶圆上为螺旋形，螺旋形的相邻两圈运动轨迹在晶圆的径向方向的距离小于等于零。本申请的晶圆检测方法及装置能够准确检测晶圆是否有缺陷。
天眼查资料显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本48016.4789万人民币。通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目174次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息677条，此外企业还拥有行政许可31个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
【出海一线】零跑的德国跃进：一...
特约记者丨陈英 发自德国 “要么与他们（中国公司）合作，要么被干掉（work with them ...
瑞锋电子取得芯片测试用承载装置...
国家知识产权局信息显示，浙江瑞锋电子科技有限公司取得一项名为“一种芯片测试用承载装置”的专利，授权公...
中瓷电子：公司氮化铝薄膜基板已...
每经AI快讯，中瓷电子（003031.SZ）5月23日在投资者互动平台表示，公司开创了我国光通信器件...
原创 A...
日前中国最大的芯片代工企业在业绩发布会上表示，业绩稳步增长，海外芯片客户正在回流，业界人士指出这与当...
广电计量招标结果：广电计量20...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，广电计量检测集团股份有限公司5月18日发布《广电计...
市场占比不足 20%！黄仁勋：...
来源：环球网 【环球网科技综合报道】5月23日消息，据digitimes报道，英伟达在 2027 ...
辉煌科技中标：青藏公司西宁电务...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据青藏公司西宁电务段5月18日发布的《青藏公司西...
云图控股招标结果：荆州基地气体...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，成都云图控股股份有限公司5月18日发布《荆州基地气...
中科江南中标：西安分行代理财政...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据兴业银行西安分行5月20日发布的《西安分行代理...
开普云中标：广州市科学技术局广...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据广州市科学技术局5月20日发布的《广州市科学技...