青岛贝斯兰半导体申请晶圆烘干设备专利，有效地提升晶圆烘干效率_元器件

青岛贝斯兰半导体申请晶圆烘干设备专利，有效地提升晶圆烘干效率

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2025-12-31 18:09:52

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国家知识产权局信息显示，青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请一项名为“一种晶圆烘干设备”的专利，公开号CN121230395A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明属于晶圆加工设备技术领域，公开了一种晶圆烘干设备，包括离心腔，离心腔内部设置有晶圆承载装置，晶圆承载装置包括风轴以及连接于风轴的晶圆承载架；晶圆承载架包括沿风轴的轴向设置的多个晶圆承载层，每个晶圆承载层包括绕风轴的周向设置的多个晶圆承载位；风轴的轴线与离心腔的转动轴线共线；风轴内部设置有热风通道，热风通道包括轴向散风通道和径向散风通道，轴向散风通道沿风轴的轴向延伸，径向散风通道沿风轴的径向延伸且与轴向散风通道连通；径向散风通道沿风轴的轴向设置有多个。采用上述结构同时实现了离心式烘干和热风式烘干，从而有效地提升晶圆烘干效率且从根本上避免二次搬运污染。

天眼查资料显示，青岛贝斯兰半导体科技有限公司，成立于2023年，位于青岛市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1155.5555万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛贝斯兰半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目2次，专利信息84条，此外企业还拥有行政许可7个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业贝斯兰投资风轴设备通道青岛导体有效地专利散风离心腔晶圆轴向

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