盛美半导体申请基板定位装置及基板定位方法专利,用于对基板进行二级对中操作
创始人
2025-12-30 00:08:18
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国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“基板定位装置及基板定位方法”的专利,公开号CN121215586A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本申请提供一种基板定位装置及基板定位方法。基板定位装置用于定位方形基板,包括:支撑座,用于承托并升降基板;两个二级对中作用部,分别作用于位于支撑座上的基板的一组对边以在水平方向移动基板,用于对基板进行二级对中操作;具有转轴的承载机构,用于承载基板,并以转轴为旋转中心旋转基板;在对基板其中一组对边进行二级对中操作后,支撑座被配置为:带着基板下降至承载机构上以使承载机构带着基板旋转90°;旋转完成后上升并承托基板,以使两个二级对中作用部完成基板另外一组对边的二级对中操作。

天眼查资料显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司,成立于2005年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本47989.2514万人民币。通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目171次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息654条,此外企业还拥有行政许可31个。

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来源:市场资讯

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