盛鑫半导体申请硅外延设备管制参数在线监测装置及方法专利，确保外延片生产质量_芯片

盛鑫半导体申请硅外延设备管制参数在线监测装置及方法专利，确保外延片生产质量

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2025-12-27 16:07:39

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国家知识产权局信息显示，南京盛鑫半导体材料有限公司;南京国盛电子有限公司申请一项名为“一种硅外延设备管制参数在线监测装置及方法”的专利，公开号CN121207258A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种硅外延设备管制参数在线监测装置及方法，监测装置包括交流电压变送器、交流电流变送器、温度传感器、掺杂压力传感器、载气压力传感器、PLC系统；所述交流电流变送器、交流电压变送器均与加热灯管连接，所述温度传感器包括与进水水路连接的进水温度传感器、与出水水路连接的出水温度传感器；所述掺杂压力传感器与掺杂管路连接，载气压力传感器与载气管路连接；所述PLC系统用于接收并处理交流电压变送器、交流电流变送器、温度传感器、掺杂压力传感器、载气压力传感器采集数据。本发明通过多种监测装置对外延设备的温度、掺杂、硅源进行全方位监测，实现对外延设备工作状态的多维管制，从而确保外延片生产质量。

天眼查资料显示，南京盛鑫半导体材料有限公司，成立于2021年，位于南京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本60000万人民币。通过天眼查大数据分析，南京盛鑫半导体材料有限公司参与招投标项目100次，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可48个。

南京国盛电子有限公司，成立于2003年，位于南京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本20779.2934万人民币。通过天眼查大数据分析，南京国盛电子有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可208个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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