聚智半导体取得气体均匀分配式扩散炉膛结构专利，保证氧气在硅晶片表面附着的均匀性
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2026-06-20 01:23:11
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国家知识产权局信息显示，山东聚智半导体科技有限公司取得一项名为“气体均匀分配式扩散炉膛结构”的专利，授权公告号CN224378295U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本实用新型涉及炉膛结构领域，具体为气体均匀分配式扩散炉膛结构，包括外壳体，外壳体上端固定安装有输气管，所述外壳体内开设有进气腔，还包括：设于外壳体内部的内壳体，所述内壳内开设有扩散腔，所述扩散腔的两侧腔壁上开设有多个承载槽；所述承载槽内可移动的安装有硅晶片放置件；每个所述硅晶片放置件的上下两侧均安装有集气件。本实用新型氧气进入进气腔后会从每个进气管进入到集气腔内，再由出气孔逸出，由于出气孔覆盖整个透气孔，所以氧气会均匀的扩散到硅晶片表面，又由于每个硅晶片上下两侧均设置有出气孔，因此氧气能够从上下两侧均匀的扩散到硅晶片表面，保证氧气在硅晶片表面附着的均匀性。
天眼查资料显示，山东聚智半导体科技有限公司，成立于2023年，位于潍坊市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，山东聚智半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目13次，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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