博视像元申请用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法专利，解决半导体检测精度与效率难以平衡的难题_芯片

博视像元申请用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法专利，解决半导体检测精度与效率难以平衡的难题

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2026-02-12 13:19:29

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国家知识产权局信息显示，北京博视像元科技有限公司申请一项名为“一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法”的专利，公开号CN121499514A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请公开了一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法，涉及半导体检测技术领域，其中包括：集成可调激光光源阵列、高性能TDI相机、预扫描传感器，对预扫描区域进行亮度信息采集，生成预扫描反射率图谱；通过可调激光光源阵列，用不同照明光先后照射预扫描区域，生成多幅扫描图像并提取特征生成多模态差分特征场；通过多模态照明与缺陷特征协同增强算法预测区域内主要缺陷类型生成对应照明模式指令；通过TDI参数动态调制算法计算最优TDI参数生成TDI相机控制指令；按照两种指令扫描晶圆，采集原始图像数据输入深度缺陷分类模型，输出缺陷信息图及对应信息。本申请旨在解决半导体检测精度与效率难以平衡的难题。

天眼查资料显示，北京博视像元科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1130.8159万人民币。通过天眼查大数据分析，北京博视像元科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息49条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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