炬芯通光电申请液相外延生长石榴石温场专利，避免了在单晶薄膜中形成杂质_芯片

炬芯通光电申请液相外延生长石榴石温场专利，避免了在单晶薄膜中形成杂质

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2026-01-12 09:38:00

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国家知识产权局信息显示，炬芯通光电科技（苏州）有限公司申请一项名为“一种液相外延生长石榴石的温场”的专利，公开号CN121295332A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种液相外延生长石榴石的温场，分布在反应容器内，温场分为上部、中部和下部，上部、中部和下部是连续的空间，其特征在于，所述下部温度自下向上逐渐减小，所述上部的温度自下向上逐渐增大；中部为单晶组分析出并沉积生长形成单晶薄膜的区域。与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过在反应容器的底部升温，溶液的上表面与衬底材料接触反应。通过在反应容器顶部升温，热量向衬底材料传递，提高衬底材料的上表面的温度。衬底材料的上下表面的温差越小，金离子参与反应的势能越小。金离子仍然在液相溶液，未能进入单晶薄膜中，避免了在单晶薄膜中形成杂质。

天眼查资料显示，炬芯通光电科技（苏州）有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本716.1458万人民币。通过天眼查大数据分析，炬芯通光电科技（苏州）有限公司专利信息20条，此外企业还拥有行政许可10个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

科技材料薄膜单晶外延反应炬芯石榴石专利苏州衬底液相温场

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