集迦电子申请用于晶圆的高效镀膜设备专利,提高安装效率
创始人
2026-01-05 15:08:18
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国家知识产权局信息显示,上海集迦电子科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆的高效镀膜设备”的专利,公开号CN121250313A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆镀膜设备技术领域,主要涉及一种用于晶圆的高效镀膜设备,包括用于晶圆安放的伞架,所述伞架上等角度设置有若干个平面,且平面上开设有用于晶圆摆放的凹槽,还包括用于晶圆安装的摆放架,所述摆放架上开设有与凹槽相对应的卡槽,所述伞架上开设有对齐孔,且所述摆放架上固定有与所述对齐孔相适配的对接柱,以及转动安装于摆放架上的拿持架,所述摆放架上固定有弧形轨板,本发明优化传统的晶圆与伞架之间的安装方式,利用设计的摆放架以及摆放架上的拿持架,人员可以很便捷地将伞架上一个平面上所有的晶圆进行拆卸与安放,利用设计的对接部和定位件实现快捷安装,从而提高安装效率。

天眼查资料显示,上海集迦电子科技有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1489.7297万人民币。通过天眼查大数据分析,上海集迦电子科技有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息5条,专利信息76条,此外企业还拥有行政许可5个。

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来源:市场资讯

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