集迦电子申请用于晶圆的高效镀膜设备专利，提高安装效率
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2026-01-05 15:08:18
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国家知识产权局信息显示，上海集迦电子科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆的高效镀膜设备”的专利，公开号CN121250313A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆镀膜设备技术领域，主要涉及一种用于晶圆的高效镀膜设备，包括用于晶圆安放的伞架，所述伞架上等角度设置有若干个平面，且平面上开设有用于晶圆摆放的凹槽，还包括用于晶圆安装的摆放架，所述摆放架上开设有与凹槽相对应的卡槽，所述伞架上开设有对齐孔，且所述摆放架上固定有与所述对齐孔相适配的对接柱，以及转动安装于摆放架上的拿持架，所述摆放架上固定有弧形轨板，本发明优化传统的晶圆与伞架之间的安装方式，利用设计的摆放架以及摆放架上的拿持架，人员可以很便捷地将伞架上一个平面上所有的晶圆进行拆卸与安放，利用设计的对接部和定位件实现快捷安装，从而提高安装效率。
天眼查资料显示，上海集迦电子科技有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1489.7297万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集迦电子科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息5条，专利信息76条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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