宁波润华全芯申请用于半导体设备的送风系统专利，防止颗粒物沉降
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2026-05-16 18:13:59
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国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“用于半导体设备的送风系统、排风系统及半导体设备”的专利，公开号CN122054950A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种用于半导体设备的送风系统、排风系统及半导体设备。送风系统包括一根送风主管路和至少两个从其分出的送风支路，每个支路与一个工艺腔体连通。所述送风主管路具有递进式收缩结构，沿气体流动方向，在分出任一送风支路后，主管路的下游部分流通截面积均小于其上游部分，以维持主管路内风速恒定，防止颗粒物沉降。排风系统在水平排风支管与垂直总排风管的汇集处设置有可拆卸的维护口盖板，该盖板覆盖汇集处的多个面，拆卸后可对管路进行无障碍清洁。本申请的技术方案解决了送风管路二次污染和排风管路清洁死角的问题，保证了工艺环境的洁净度和系统的可维护性，能够提升半导体设备的工艺性能和产品良率。
天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息192条，此外企业还拥有行政许可23个。
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来源：市场资讯
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