湖北江城芯片申请一种研磨垫及半导体研磨设备专利，能够改善晶圆表面的平整度和均匀性
创始人
2026-08-29 09:09:33
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国家知识产权局信息显示，湖北江城芯片中试服务有限公司申请一项名为“一种研磨垫及半导体研磨设备”的专利，公开号CN122645169A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本公开提供了一种研磨垫及半导体研磨设备。研磨垫被配置为辅助磨料与晶圆表面进行化学反应和机械研磨。研磨垫具有与晶圆接触并摩擦的前表面，前表面的至少部分区域的粗糙度大于基准粗糙度。这样，能够提高研磨垫与晶圆的接触面积以及局部应力，减少晶圆边缘区域出现的空隙，从而，能够改善晶圆表面的平整度和均匀性，尤其是晶圆边缘轮廓的平整性。
天眼查资料显示，湖北江城芯片中试服务有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北江城芯片中试服务有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目32次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息131条，此外企业还拥有行政许可9个。
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来源：市场资讯
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