安徽建筑大学申请基于噪声抵消的半导体废气浓度检测方法专利，提升半导体废气浓度检测的准确性
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2026-08-15 20:25:45
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国家知识产权局信息显示，安徽建筑大学;安徽宾肯环境科技股份有限公司申请一项名为“一种基于噪声抵消的半导体废气浓度检测方法”的专利，公开号CN122567581A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体废气监测技术领域，具体为一种基于噪声抵消的半导体废气浓度检测方法，包括：在半导体工艺腔室废气排放主路径装配主红外光谱传感器，其邻近位置设置结构参数一致的参考红外光谱传感器监测共模噪声信号。按预设采样时序同步触发两传感器，采集主吸收光谱信号与参考背景光谱信号，通过依据实时噪声相关性矩阵调整权系数的改进自适应滤波算法处理信号，提取噪声抵消后的目标气体特征吸收光谱，结合预存的气体吸收光谱标准数据库，计算出废气中特定气体的浓度值。该方法通过双传感器匹配噪声与动态滤波调整，优化光谱信号噪声抵消效果，提升半导体废气浓度检测的准确性。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

光谱 半导体 安徽建筑大学 检测 传感器 信号 噪声 废气 浓度 抵消

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