信利申请低温多晶硅晶体管制作方法专利,面内各个晶体管的阈值电压Vth均一性更好
创始人
2026-04-01 21:52:12
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国家知识产权局信息显示,信利(仁寿)高端显示科技有限公司申请一项名为“一种低温多晶硅晶体管制作方法、阵列基板及显示装置”的专利,公开号CN121772339A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请公开了一种低温多晶硅晶体管制作方法、阵列基板及显示装置,方法包括步骤:对非晶硅薄膜进行激光退火,得到第一多晶硅薄膜,对第一多晶硅薄膜进行整面轻掺杂,调节第一多晶硅薄膜的电学特性,得到第二多晶硅薄膜;对第二多晶硅薄膜进行光刻胶涂覆、刻蚀、去胶,得到晶体管的有源区图案;对所有晶体管的有源区的两端进行重掺杂,以实现晶体管开关功能。通过在对非晶硅薄膜进行激光退火后对第一多晶硅薄膜进行整面轻掺杂,调节所述第一多晶硅薄膜的电学特性,使得第二多晶硅薄膜掺杂的均匀性更好,杜绝了因多晶硅膜层坡度角不均导致的特性差异,整面掺杂可以促使多晶硅内部引入的空穴数量更加均匀,面内各个晶体管的阈值电压Vth均一性更好。

天眼查资料显示,信利(仁寿)高端显示科技有限公司,成立于2017年,位于眉山市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析,信利(仁寿)高端显示科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目256次,专利信息456条,此外企业还拥有行政许可157个。

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来源:市场资讯

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