微导纳米申请反应装置及半导体薄膜沉积方法专利，提升反应装置中反应腔压力监测的可靠性与准确性_电子电器

微导纳米申请反应装置及半导体薄膜沉积方法专利，提升反应装置中反应腔压力监测的可靠性与准确性

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2026-03-14 23:33:57

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国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“反应装置、半导体薄膜沉积方法和半导体薄膜沉积设备”的专利，公开号CN121653610A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种反应装置、半导体薄膜沉积方法和半导体薄膜沉积设备，该反应装置包括反应主体、排气管道和压力感应组件，反应主体内具有反应腔，排气管道与反应腔连通并用于排出反应腔的反应气体，压力感应组件包括第一压力传感器和第二压力传感器，第一压力传感器和第二压力传感器均连接至排气管道并用于反馈反应腔的压力；其中，第一压力传感器的量程小于第二压力传感器的量程。本申请通过在排气管道上设置压力感应组件，压力感应组件能够反馈反应腔内的压力信息，便于对反应过程的反应压力进行调控。而且通过不同量程的第一压力传感器和第二压力传感器的相互配合，提升反应装置中反应腔压力监测的可靠性与准确性，保证了薄膜沉积反应的稳定性和可控性。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息86条，专利信息603条，此外企业还拥有行政许可69个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

投资薄膜装置压力传感器导体导纳反应专利的可靠性压力传感器量程

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