国家知识产权局信息显示,上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“一种改善红外传感器成像均匀性的方法及红外传感器”的专利,公开号CN121655708A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种改善红外传感器成像均匀性的方法及红外传感器,包括以下步骤:S1.在读出电路晶圆上形成聚酰亚胺层,并进行固化;S2.在聚酰亚胺层中刻蚀形成桥墩通道,直至露出读出电路晶圆的电极表面;S3.在读出电路晶圆表面形成第一介质层;S4.在第一介质层上形成热敏电阻部;S5.移除电极表面的第一介质层,露出电极;S6.在读出电路晶圆表面形成第一金属层;S7.在读出电路晶圆表面形成第二介质层;S8.对第二介质层表面进行氧气等离子体处理,处理条件包括:工艺温度150‑200℃,处理时间1‑10min;S9.对第二介质层、第一金属层和第一介质层进行图形化处理,形成桥臂结构。该方法实现了桥臂结构关键尺寸与形貌的均匀性提升,进而改善红外传感器的成像均匀性。
天眼查资料显示,上海新微技术研发中心有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了21家企业,参与招投标项目490次,财产线索方面有商标信息52条,专利信息834条,此外企业还拥有行政许可47个。
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