中嘉微视申请基于图像采集装置的半导体缺陷检测方法专利，解决缺陷误判问题
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2025-12-27 19:37:30
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国家知识产权局信息显示，中嘉微视（深圳）半导体科技有限公司申请一项名为“基于图像采集装置的半导体缺陷检测方法”的专利，公开号CN121213481A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本公开提供了一种基于图像采集装置的半导体缺陷检测方法，涉及半导体领域，其中方法包括：检测图像采集装置的信噪比，并基于信噪比设置表征物理约束强度的容忍阈值；使用图像采集装置采集半导体样本的原始图像；将原始图像输入机器学习模型，得到原始图像对应的重建图像；基于图像采集装置的光学参数信息构建物理退化模型，并将重建图像输入物理退化模型，得到重建图像对应的预测图像；若原始图像与预测图像之间的物理一致性损失小于等于容忍阈值，则基于重建图像进行半导体缺陷检测。以解决由于输入缺陷检测模型的半导体重建图像出现光学伪影等失真现象从而导致缺陷误判的问题。
天眼查资料显示，中嘉微视（深圳）半导体科技有限公司，成立于2025年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，中嘉微视（深圳）半导体科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息5条。
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