艾迈斯-欧司朗申请用于制造光电检测器装置的方法和光电检测器装置专利，提供了一种光电检测器装置
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2025-12-31 23:07:53
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国家知识产权局信息显示，艾迈斯-欧司朗股份有限公司申请一项名为“用于制造光电检测器装置的方法和光电检测器装置”的专利，公开号CN121241686A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，提供了一种用于用以下步骤制造光电检测器装置的方法：‑提供功能晶圆（1），该功能晶圆具有至少两个光电检测器元件（5），光电检测器元件（5）被配置为检测第一波长范围的电磁辐射，‑提供电介质晶圆（7），该电介质晶圆对于第一波长范围的电磁辐射具有透射性，电介质晶圆（7）包括至少两个凹部（8）和/或至少两个穿孔（21），凹部（8）具有底面（10）并且穿孔（21）完全穿透电介质晶圆（7），‑将电介质晶圆（7）连接到功能晶圆（1），其中凹部（8）的开口（9）和/或穿孔（21）的开口（9）覆盖光电检测器元件（5），并且其中穿孔（21）与功能晶圆（1）的主表面一起形成腔（22），腔（22）具有底面（10），以及‑将光学过滤元件（14）布置在凹部（8）中和/或腔（22）中。此外，提供了一种光电检测器装置。
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