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彼博申请高击穿电压介电聚合物膜专利，可用于半导体器件

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华芯半导体申请电压控制电路及静电卡盘电压控制系统专利，可降低高压模块输出电压过冲的概率

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青岛贝斯兰半导体取得晶圆清洗表面烘干控制方法专利

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