奕成集成电路申请半导体结构制作方法专利,提高了工具孔的识别率和半导体结构的制作精度
创始人
2025-12-30 00:08:07
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国家知识产权局信息显示,成都奕成集成电路有限公司申请一项名为“半导体结构及其制作方法、电子设备”的专利,公开号CN121215523A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请提供一种半导体结构及其制作方法、电子设备,方法包括:提供具有至少一个通孔的玻璃基板;提供具有至少一个开口的支撑结构;将玻璃基板放置于开口内,并使其与支撑结构连接;形成至少一个贯穿支撑结构的工具孔;其中,至少部分开口内壁与玻璃基板的边缘形状相配合;基于工具孔,通过光刻工艺在玻璃基板上形成导电结构。通过将单个玻璃基板置于支撑结构的开口中,同时在支撑结构上制作工具孔,提高了工具孔的识别率和半导体结构的制作精度,减少了由于在玻璃基板上打孔造成的裂片风险。此外,由于支撑结构具有一定刚性,因此制作半导体结构的过程中产生的应力可以得到有效释放,改善了工艺翘曲,进而提升了使用本申请的方法制成的半导体结构的可靠性。

天眼查资料显示,成都奕成集成电路有限公司,成立于2017年,位于成都市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本234500万人民币。通过天眼查大数据分析,成都奕成集成电路有限公司参与招投标项目353次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息143条,此外企业还拥有行政许可226个。

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来源:市场资讯

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