盛吉盛半导体申请用于RTP设备的辐射率补偿方法专利，保证了辐射率和温度测量准确性
创始人
2025-12-27 10:08:47
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国家知识产权局信息显示，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司申请一项名为“用于RTP设备的辐射率补偿方法、装置、设备及介质”的专利，公开号CN121215574A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于RTP设备的辐射率补偿方法、装置、设备及介质，其属于半导体设备技术领域，所述辐射率补偿方法包括以下步骤：获取不同晶圆位于第一工位时的历史数据；获取第一次空腔状态时的第一反射信号；获取晶圆在第一工位时的第一辐射率和晶圆在第二工位时的第二辐射率；获取空腔状态的第二反射信号，根据第一反射信号和第二反射信号计算得到空腔反射信号衰减值；计算得到辐射率补偿值；根据第一辐射率和辐射率补偿值计算得到最终辐射率；第一工位和第二工位均位于腔体内，第一工位在第二工位下方。本发明通过不同位置辐射率和空腔反射信号衰减值综合对辐射率进行补偿，避免温度测量不准的情况，保证了辐射率和温度测量准确性。
天眼查资料显示，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司，成立于2021年，位于北京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司参与招投标项目28次，专利信息127条，此外企业还拥有行政许可7个。
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