博世申请微机电结构元件专利，第一电容器结构在第三延伸方向至少部分超出膜片结构
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2025-12-04 15:37:04
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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微机电结构元件”的专利，公开号CN 121044532 A，申请日期为2025年5月。专利摘要显示，本发明涉及一种微机电的结构元件，具有带有多个在层序列方向上布置的层的层堆。运动元件形成在层堆的第一层中。固定元件至少部分形成在层堆的第二层中。微机电结构元件还具有电容器元件。电容器元件具有第一电容器结构和第二电容器结构。第一电容器结构与运动元件并且第二电容器结构与固定元件机械连接。运动元件具有在第一延伸方向上和在第二延伸方向上延伸的膜片结构。它们彼此成角度。第一电容器结构具有至少一个第一电极元件。第一电极元件在第一和第三延伸方向上延伸。第三延伸方向相对于第一延伸方向和相对于第二延伸方向成角度。第一电容器结构在第三延伸方向至少部分地超出膜片结构。
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