晶通取得一种带调节功能的等离子体发生器专利，能实时监控负载端电容量变化以及快速设定最佳电容的匹配
国家知识产权局信息显示，晶通（高邮）集成电路有限公司、杭州晶通科技有限公司取得一项名为“一种带调节功能的等离子体发生器”的专利，授权公告号CN223600077U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型属于射频电路控制技术领域，具体为一种带调节功能的等离子体发生器，包括工艺腔，设置在工艺腔外部的外腔体、设置在外腔体内部的防护罩、设置在工艺腔内部的圆晶放置平台、设置在工艺腔底部的分子泵；设置在工艺腔顶部的第一线圈适配器、设置在第一线圈适配器底部的线圈主体；2MHz线圈射频电源，所述2MHz线圈射频电源与第一线圈适配器电性连接；下电极13.56MHz射频电源，所述下电极13.56MHz射频电源一端电性连接下电极匹配器，所述下电极13.56MHz射频电源一端电性连接圆晶放置平台；交互系统，所述交互系统电性连接第一线圈适配器和下电极13.56MHz射频电源；其结构合理，在使用的过程中，能实时监控负载端电容量变化以及快速设定最佳电容的匹配。
天眼查资料显示，晶通（高邮）集成电路有限公司，成立于2021年，位于扬州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本19607.8431万人民币。通过天眼查大数据分析，晶通（高邮）集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可23个。
杭州晶通科技有限公司，成立于2018年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1565.1667万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州晶通科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息52条，此外企业还拥有行政许可7个。
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来源：市场资讯