原速光电申请升降旋转机构及ALD设备专利，能够降低工艺腔体热变形对设备造成的影响_元器件

原速光电申请升降旋转机构及ALD设备专利，能够降低工艺腔体热变形对设备造成的影响

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2026-09-04 20:54:12

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国家知识产权局信息显示，深圳市原速光电科技有限公司申请一项名为“升降旋转机构及ALD设备”的专利，公开号CN122687172A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本申请公开了一种升降旋转机构及ALD设备。升降旋转机构包括基座、升降组件、旋转组件、载物平台和密封板。升降组件沿第一方向抵接基座，升降组件包括升降架和升降驱动件，升降驱动件连接升降架，升降驱动件能够驱动升降架沿第一方向移动。旋转组件连接升降架，旋转组件包括转轴组件和旋转驱动件，转轴组件连接旋转驱动件，旋转驱动件能够驱动转轴组件绕第一方向转动。载物平台连接旋转组件朝第一方向的端部，升降组件和旋转组件被配置为能够协同动作，以使载物平台在升降过程中保持旋转能力。转轴组件沿第一方向穿设于密封板，密封板连接升降组件，密封板能够用于密封工艺腔体。本申请集成度高，且能够降低工艺腔体热变形对设备造成的影响。

天眼查资料显示，深圳市原速光电科技有限公司，成立于2017年，位于深圳市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市原速光电科技有限公司参与招投标项目53次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息110条，此外企业还拥有行政许可13个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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