应用材料申请用于基板支撑组件的RF滤波器拓扑专利，降低返回至基板支撑组件的经耦合的RF功率的反射
创始人
2026-08-18 19:23:30
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于基板支撑组件的RF滤波器拓扑”的专利，公开号CN122603404A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本文描述了一种用于处理源自处理腔室的基板支撑组件的经耦合的RF功率的RF滤波器组件、一种用于所述基板支撑组件的卡紧电路及一种用于处理所述经耦合的RF功率的方法。所述RF滤波器组件包括补偿电路，所述补偿电路连接至所述基板支撑组件的电极且经配置以接收所述经耦合的RF功率并降低返回至所述基板支撑组件的所述经耦合的RF功率的反射；以及RF滤波器块，所述RF滤波器块经配置以接收由所述补偿电路处理的信号，且包含经配置以滤除所述经耦合的RF功率的预定频率的多个RF滤波器。所述卡紧电路包括RF滤波器组件。所述方法包括所述RF滤波器组件的处理及操作。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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