硅电子取得在狭缝阀通道中产生吹扫气体帘幕方法专利
创始人
2026-07-22 02:24:26
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国家知识产权局信息显示，硅电子股份公司取得一项名为“在狭缝阀通道中产生吹扫气体的气体帘幕的方法以及狭缝阀通道”的专利，授权公告号CN115868016B，申请日期为2021年6月。

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