苏州晶拓半导体申请混无机酸臭氧水制备系统专利，能够在线调整得到合适PH值的混无机酸臭氧水_元器件

苏州晶拓半导体申请混无机酸臭氧水制备系统专利，能够在线调整得到合适PH值的混无机酸臭氧水

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2026-04-04 19:35:46

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国家知识产权局信息显示，苏州晶拓半导体科技有限公司申请一项名为“一种混无机酸臭氧水制备系统”的专利，公开号CN121775694A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明提供一种混无机酸臭氧水制备系统，该系统通过设置液液混合器对经由臭氧水输入管路输入的臭氧水和经由无机酸液输入管路输入的无机酸溶液进行混合得到混无机酸臭氧水，混合液储液桶储存混无机酸臭氧水并为后续混无机酸臭氧水PH值的调整提供空间，通过在臭氧水输入管路上设置臭氧水输入控制件、在无机酸液输入管路上设置无机酸液输入控制件、在与混合液储液桶连接的第一循环管路上设置第一循环泵、PH值监测件和第一循环控制件，便于根据混合液储液桶内混无机酸臭氧水的PH值对臭氧水输入及无机酸溶液输入进行控制，从而能够在线调整得到合适PH值的混无机酸臭氧水，应用到晶圆制造中，能够有效带走金属杂质、去除有机物，保证晶圆质量。

天眼查资料显示，苏州晶拓半导体科技有限公司，成立于2020年，位于苏州市，是一家以从事电力、热力生产和供应业为主的企业。企业注册资本1375万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州晶拓半导体科技有限公司参与招投标项目4次，专利信息64条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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