ASM申请半导体制造设备及制造半导体的方法专利，在前体到达泵之前沉积来自排气装置的前体
创始人
2026-04-01 05:53:39
0次
国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“半导体制造设备及制造半导体的方法”的专利，公开号CN121737677A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，公开了一种设备和方法。该设备具有：反应室；一个或多个气体入口，其连接到所述反应室以将前体提供到所述反应室中；以及蓄积器，其连接到所述一个或多个气体入口中的至少一个。该设备具有三个蒸发器/冷凝器，即第一蒸发器/冷凝器，其可与蓄积器连接，并构造成被加热以经由蓄积器向反应室提供升华/蒸发的前体；第二蒸发器/冷凝器，其可连接到大容量前体存储器，并构造成被冷却以将来自加热的存储器的前体沉积在其中；以及第三蒸发器/冷凝器，其可连接在反应室的排气装置和泵之间，并构造成被冷却以在前体到达泵之前沉积来自排气装置的前体。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
中颖电子：销售额及销量主要是市...
有投资者在互动平台向中颖电子提问：“董秘好，公司之前贸易战带来的增量订单怎么还没有提现在出货量上面，...
关于实测！麻将争霸开挂神器下载...
关于实测！麻将争霸开挂神器下载安装(竟然有开挂)
2分钟了解!微友麻将辅助软件挂...
2分钟了解!微友麻将辅助软件挂(知乎)
详细实测！家家乐牌吧开挂透视辅...
详细实测！家家乐牌吧开挂透视辅助作弊(辅助教学)
一分钟实测！功夫川麻挂开挂教程...
一分钟实测！功夫川麻挂开挂教程(分享详细教程)
一分钟了解!小南娱乐辅助通用版...
一分钟了解!小南娱乐辅助通用版(哔哩哔哩已升级)
普及实测！微乐麻将透视辅助外挂...
普及实测！微乐麻将透视辅助外挂(切实有挂)
分享实测！七七娱乐确实有挂(真...
分享实测！七七娱乐确实有挂(真的确实有挂)
揭秘!微乐湖北麻将可以辅助吗(...
揭秘!微乐湖北麻将可以辅助吗(内幕分享)
必备教程!九九山城麻将有挂吗辅...
必备教程!九九山城麻将有挂吗辅助脚本(切实有挂)