北方华创申请晶圆支撑装置及半导体清洗设备专利，避免叠片问题_元器件

北方华创申请晶圆支撑装置及半导体清洗设备专利，避免叠片问题

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2026-03-18 04:10:11

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆支撑装置及半导体清洗设备”的专利，公开号CN121693078A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本申请公开一种晶圆支撑装置及半导体清洗设备，属于半导体清洗技术领域。晶圆支撑装置包括晶圆支撑架、检测装置和气流调节装置，晶圆支撑架设有用于供晶圆伸入的限位槽，限位槽的槽壁面设有气流喷射孔，通过气流喷射孔可向晶圆喷射气体；检测装置用于检测限位槽承载的晶圆的位置状态；气流调节装置包括进气管路和调节件，进气管路通过气流喷射孔与限位槽连通，调节件与进气管路连接，以调节进气管路的气流量，调节件可根据检测装置的检测信息调节进气管路的气流量，以使限位槽承载的晶圆处于竖直状态。采用本实施例，晶圆支撑装置准确支撑晶圆，避免叠片问题，有利于提升清洗效果，且晶圆支撑装置的适用范围增大。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1393次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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