菲科半导体申请晶圆片组自动输送装置专利，夹持晶圆边沿
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2026-03-07 19:47:57
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国家知识产权局信息显示，菲科半导体（张家港）有限公司申请一项名为“晶圆片组自动输送装置”的专利，公开号CN121620143A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆片组自动输送装置，包括活动设置在机架上的移动座，移动座上设有平移驱动装置，移动座上设有竖直运动的升降座，升降座顶部设有上安装座，所述上安装座中设有行程可调的驱动气缸，上安装座中活动设有往复座，往复座两侧分别设有驱动杆，驱动杆上设有圆锥段，驱动气缸的活塞杆与往复座相连接，上安装座中转动设有一对夹持臂，夹持臂与驱动气缸的活塞杆平行设置；夹持臂前端可拆卸地设有夹持架，夹持架下部设有分夹杆，分夹杆上并列设有若干夹持晶圆边沿的夹持槽；夹持臂上设有传动滚轮，夹持臂侧面设有驱动短耳，上安装座上设有拉紧驱动短耳以使夹持臂在驱动气缸回缩后转动打开的复位压簧。
天眼查资料显示，菲科半导体（张家港）有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本166.6667万美元。通过天眼查大数据分析，菲科半导体（张家港）有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息13条，此外企业还拥有行政许可8个。
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来源：市场资讯
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