东方晶源申请电子束量测设备校准方法专利，提高电子束量测设备的量测精度_元器件

东方晶源申请电子束量测设备校准方法专利，提高电子束量测设备的量测精度

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2026-03-07 14:23:40

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国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“电子束量测设备的校准方法及相关产品”的专利，公开号CN121620128A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种电子束量测设备的校准方法及相关产品。校准方法包括获取电子束量测设备以预设视场在初始位置对晶圆采集的初始扫描图像；控制晶圆沿预设方向移动预设距离，并在保持预设视场不变的情况下，获取对晶圆采集的平移扫描图像；确定出各定位标记在初始扫描图像中的第一位置坐标，以及在平移扫描图像中的第二位置坐标；根据各定位标记的第二位置坐标和第一位置坐标在预设方向上的位移量，得到电子束量测设备的畸变模型；利用畸变模型对电子束量测设备进行校准。本方法可减少电子束量测设备的扫描图像的畸变程度，提高电子束量测设备的量测精度。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息156条，专利信息410条，此外企业还拥有行政许可18个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业方法显示投资晶源电子束扫描设备图像专利电子晶圆束量

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