广东钇芯微半导体技术有限公司申请阻氢复合涂层制备方法专利，氢渗透电流密度可降低99%以上
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2026-03-06 16:17:23
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国家知识产权局信息显示，华南理工大学和广东钇芯微半导体技术有限公司申请一项名为“一种阻氢复合涂层的制备方法”的专利，公开号CN121610756A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，一种阻氢复合涂层的制备方法，包括以下步骤：步骤S11，在预处理后的基体表面沉积金属钛过渡层；步骤S12，采用钛靶和碳靶共溅射方式，在金属钛过渡层的表面沉积钛碳梯度层；步骤S13，关闭钛靶，通过碳靶在钛碳梯度层的表面沉积类金刚石层；步骤S14，至少重复一次步骤S12~步骤S13；步骤S15，采用钛靶和碳靶共溅射方式，在最外层的类金刚石层的表面沉积梯度保护层。本发明通过多层复合与梯度过渡设计，实现各层之间的高结合力、低内应力和超强阻氢性能的统一，整个复合涂层致密、缺陷少，氢渗透电流密度可降低99%以上，氢穿透时间显著延长。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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