国家知识产权局信息显示,北京京东方光电科技有限公司、京东方科技集团股份有限公司申请一项名为“一种微机电系统传感器”的专利,公开号CN122283186A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种微机电系统传感器,包括:相对、且间隙设置的第一基板和第二基板;第一基板包括第一衬底基板、第一电极及第一连接线;第二基板包括第二衬底基板、第二电极及第二连接线;第一衬底基板具有第一通孔,第一连接线通过第一通孔与第一电极连接,第二衬底基板具有第二通孔,第二连接线通过第二连接线与第二电极连接;第一衬底基板靠近第二基板的一面具有突出于第一衬底基板的本体的突出部,第二衬底基板靠近第一基板的一面具有与突出部对应的凹槽,突出部容置在凹槽内、且与凹槽互不接触;第一电极设置在突出部的外侧壁,第二电极设置在凹槽的内侧壁、且在第一方向上与第一电极相对设置;其中,第一方向与第一基板平行。
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