博世申请用于引入空腔结构的方法以及具有这类空腔结构的微机械传感器专利，在相对于法向方向在网格结构下方产生腔体结构
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2026-02-12 13:17:01
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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“用于引入空腔结构的方法以及具有这类空腔结构的微机械传感器”的专利，公开号CN121493863A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种在衬底(14)中引入空腔结构(12)的方法(10)，具有以下步骤：产生(16)具有至少两个彼此间隔的沟槽结构(20)的网格结构(18)；通过构造至少面式地覆盖两个沟槽结构(20)的埋入式连续腔体(30)，在相对于法向方向(24)在所述网格结构(18)下方产生(26)腔体结构(28)。本发明还涉及一种微机械传感器(69)。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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