北京电子量检测装备公司申请深紫外显微镜物镜专利，具备高数值孔径
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2025-11-24 09:36:42
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国家知识产权局信息显示，北京电子量检测装备有限责任公司申请一项名为“一种深紫外显微镜物镜”的专利，公开号CN 120993604 A，申请日期为2025年9月。专利摘要显示，本发明涉及一种深紫外显微镜物镜，包括有沿着像方到物方的方向依次设置的第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3和光学观察窗口镜C1；所述第一透镜组G1为弱负光焦度，由一个或多个负弯月透镜构成，等效焦距范围为-10mm至-30mm；所述第二透镜组G2为弱正光焦度，由一个或多个正负交替透镜构成，等效焦距范围为50mm至100mm；所述第三透镜组G3为强正光焦度，由一个或多个弯月型透镜构成，等效焦距范围为10mm至25mm；所述光学观察窗口镜C1两面平行并垂直于光轴方向。本发明具备单一材料构建、高数值孔径、长工作距且具备窗厚自适应补偿能力。
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