中微半导体取得衬底支撑装置及处理设备专利
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2026-01-13 14:13:40
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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种衬底支撑装置及衬底处理设备”的专利，授权公告号CN116219412B，申请日期为2021年12月。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1632条，此外企业还拥有行政许可77个。
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来源：市场资讯
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