宁波云极芯申请改善探针卡薄膜电阻均匀性制备方法专利，有效提升薄膜电阻的均匀性
创始人
2026-01-03 17:06:37
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国家知识产权局信息显示，宁波云极芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种改善探针卡薄膜电阻均匀性的制备方法”的专利，公开号CN121253868A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明提供一种改善探针卡薄膜电阻均匀性的制备方法，包括以下步骤：步骤10，对陶瓷基板的顶面进行预处理；步骤20，在陶瓷基板的顶面涂敷聚酰亚胺，形成聚酰亚胺层；步骤30，在聚酰亚胺层的顶面涂敷光刻胶，形成光刻胶层，并进行曝光和显影，形成电阻电路图形；步骤40，在电阻电路图形上镀膜形成薄膜电阻；步骤50，去除光刻胶层。本发明提供的一种改善探针卡薄膜电阻均匀性的制备方法，可以有效提升薄膜电阻的均匀性，提高探针卡的可靠性。
天眼查资料显示，宁波云极芯半导体科技有限公司，成立于2024年，位于宁波市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1940.21739万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波云极芯半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，专利信息3条。
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