中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,能够减少第二介质层的顶部表面的金属材料残留
创始人
2026-01-01 01:07:21
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国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121237773A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,其中形成方法包括:提供基底,基底包括电容区和非电容区;在电容区上形成电容结构;在基底形成的第一介质层;在第一介质层内形成第一电互连结构。通过在第一介质层内形成第一电互连结构和电容结构,使得电容区和非电容区之间的器件结构密度和高度趋于一致,能够保证后续形成的第二介质层的顶部表面具有较好的平坦度,能够减少第二介质层的顶部表面的金属材料残留,有效降低后续形成的第二电互连结构发生短接漏电的问题。第一电互连结构和电容结构形成在同一工艺层,能够减少半导体结构堆叠的层数,以此减少半导体结构中产生的寄生电容,降低RC延迟。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目53次,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可225个。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。

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来源:市场资讯

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