近期，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。

深技大副校长邓元龙代表学校，分别与清华大学深圳国际研究生院、深圳平湖实验室、深圳国际量子研究院、南方科技大学深港微电子学院、深圳光峰科技股份有限公司、蓝河科技(绍兴)有限公司、腾璞显示技术（深圳）有限公司、深圳市中科米格实验室技术有限公司等科研院校及机构代表完成集中签约。签约内容涵盖框架协议、联合实验室共建、员工互聘、校外实习实训基地共建及项目合作协议等多个关键领域。

图片来源：SZTU光电芯

作为深圳市首个聚焦化合物半导体光电子领域的公共服务平台，该平台的投用填补了深圳市在“光载信息”和“智能传感”半导体芯片领域的空白，将为粤港澳大湾区半导体产业高质量发展提供关键支撑，筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

资料显示，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的#化合物半导体 光电芯片公共服务平台之一。

中心建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米，配置120余台套先进教学与研发工艺设备，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系，可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。

中心以“科研牵引、产业协同、人才培养”为使命，精准对接深技大应用研究型人才培养需求，致力于打造国际先进、国内领先的产学研协同创新高地。依托深技大集成电路与光电芯片学院，组建了由50多名高层次科研人员构成的核心团队，已构建起从基础研究到工艺实现、从中试到产业化的完整创新链条。作为学院本硕博学生的核心实践载体，将深度融合科研与教学，助力构建实践型人才培养体系，为产业输送高素质专业人才，实现教学、科研、产业三大目标的精准对接。

业界指出，当前，深圳市在光载信息产业和智能传感器系列产业领域缺乏上游工艺芯片制造公共服务平台，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台的落成弥补了这一空白，其产业服务线精准对接深圳市“20+8”产业集群中的光载信息产业和智能传感器系列产业，能满足粤港澳大湾区在该领域的相关需求。未来，中心将进一步助力学校深化产教融合、推进新型研究型大学建设，为粤港澳大湾区建设产业科技策源地贡献深技大力量。

（文/集邦化合物半导体整理）

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