重庆博硕自动化取得半导体晶圆转运水车专利,缩短晶圆生产加工时间
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2025-12-04 15:37:19
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国家知识产权局信息显示,重庆博硕自动化设备有限公司取得一项名为“半导体晶圆转运水车”的专利,授权公告号CN223618743U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆运输技术领域,具体涉及一种半导体晶圆转运水车,包括车体,还包括行走轮、推把、盖板、限位机构、晶圆放置机构、排水管和排水阀,行走轮活动设置在车体下方,推把设置在车体外,盖板拆卸设置在车体上,限位机构用于将盖板限位固定在车体上,晶圆放置机构位于车体内,用于放置待转运的晶圆,排水管与车体连通,并位于车体内底部,排水阀与排水管连通,并伸出到车体外,用于控制排水管排出的水源的流速,由于在对晶圆进行转运时,清洁液可对晶圆上存在的灰尘等杂质进行时刻清洁,从而使得在转运完成后,不需要再次清洁,进而缩短了晶圆的生产加工时间,提高了晶圆的制备效率。

天眼查资料显示,重庆博硕自动化设备有限公司,成立于2016年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆博硕自动化设备有限公司专利信息29条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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