华虹宏力申请半导体制造工艺在线监控方法专利，显著提升半导体制造工艺稳定性和量产良率
创始人
2026-09-08 19:33:31
0次

国家知识产权局信息显示，上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“半导体制造工艺的在线监控方法、装置、设备及介质”的专利，公开号CN122719423A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体制造工艺的在线监控方法、装置、设备及介质。该方法包括：对半导体基片进行沟槽刻蚀操作，测量获得第一关键尺寸和第一边缘粗糙度；对所述沟槽进行表面处理操作，测量获得第二关键尺寸和第二边缘粗糙度；在所述沟槽表面形成介电层，测量获得第三关键尺寸和第三边缘粗糙度；对比上述关键尺寸及边缘粗糙度的数值差异，以判断制造工艺是否符合要求。本发明有效克服了传统量测手段无法探测深沟槽内部介电层厚度不均与微观起伏的技术盲区，实现了低成本、高效率的在线无损监控，显著提升了半导体制造工艺的稳定性和量产良率。

天眼查资料显示，上海华虹宏力半导体制造有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目944次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息7942条，此外企业还拥有行政许可465个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业 制造 投资 沟槽 上海华虹 显著提升 在线 导体 工艺 专利 糙度 半导体 介电层

上一篇：辅助教程分享“(网页版斗牛)透视辅助开挂”详细分享装挂步骤

下一篇：开发房卡“斗牛好友房卡如何弄”获得房间卡链接

相关内容

CFA协会报告：金融人才能...
上证报中国证券网讯（记者 汤立斌）全球投资专业人士机构特许金融分析...
2026-09-14 01:04:07
股市必读：晶丰明源新发布《...
截至2026年9月11日收盘，晶丰明源(688368)报收于129...
2026-09-14 01:04:02
原创 ...
隔夜美股、韩股半导体集体暗盘下挫，美光、SK 海力士大跌超 3%，...
2026-09-14 01:03:53
图灵量子发布芯片级可扩展光...
9月12日，澎湃新闻记者获悉，在2026浦江创新论坛成果发布会科产...
2026-09-14 01:03:47
平伟半导体申请基于光耦隔离...
国家知识产权局信息显示，重庆平伟半导体股份有限公司申请一项名为“一...
2026-09-14 01:03:43
股市必读：德科立新发布《无...
截至2026年9月11日收盘，德科立(688205)报收于218....
2026-09-14 01:03:27
股市必读：生益电子新发布《...
截至2026年9月11日收盘，生益电子(688183)报收于125...
2026-09-14 01:03:11
国内首个国产GPU +类脑...
IT之家 9 月 13 日消息，9 月 11 日至 13 日，20...
2026-09-13 22:56:38
【深化开展“三个年”活动 ...
教育是国之大计、民生之首。漫步初秋的韩城校园，平整的塑胶跑道、崭新...
2026-09-13 22:56:26

热门资讯

（大厅/房卡）微信拼三张房卡怎... 您好！牌九房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【33903369】， 微信渠道：微信游戏...
（大厅/房卡）牌九链接房卡购买... 您好！拼三张房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【55051770】， 微信渠道：微信游...
（大厅/房卡）6人拼三张房间卡... 您好！斗牛房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【8488009】， 微信渠道：微信游戏中...
（大厅/房卡）拼三张房卡怎样购... 您好！金花房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【66336574】， 微信渠道：微信游戏...
（大厅/房卡）牌九正版房卡哪里... 您好！牛牛房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【8488009】， 微信渠道：微信游戏中...
（大厅/房卡）牛牛房间房卡怎么... 您好！拼三张房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【8488009】， 微信渠道：微信游戏...
（大厅/房卡）微信拼三张链接房... 您好！炸金花房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【33903369】， 微信渠道：微信游...
（大厅/房卡）牛牛房间卡如何购... 您好！金花房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【55051770】， 微信渠道：微信游戏...
（大厅/房卡）微信里金花房卡链... 您好！牛牛房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【8488009】， 微信渠道：微信游戏中...
（大厅/房卡）金花房卡如何卖房... 您好！拼三张房卡可以通过以下几种方式购买：打开微信添加客服【8488009】， 微信渠道：微信游戏...