吉姆西半导体申请晶圆加工平台专利,解决加工时晶圆的稳定性问题
创始人
2026-04-08 15:09:55
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国家知识产权局信息显示,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请一项名为“一种晶圆加工平台”的专利,公开号CN121816013A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请实施例公开了一种晶圆加工平台。晶圆加工平台包括:底座;驱动组件,安装在底座上;连接板,安装在驱动组件的驱动端上;工作台,包括基座和升降台;基座吸附安装在连接板上;升降台沿竖直方向活动安装在基座上;基座沿升降台外围周向设置有吸附件;升降台被配置为承载晶圆并带动晶圆升降移动,以顶起晶圆或使晶圆接触吸附件;吸附件被配置为吸附固定所接触的晶圆;驱动组件被配置为驱动连接板旋转,以带动吸附件上吸附的晶圆旋转。通过本申请实施例,以解决如何同时兼顾加工时晶圆的稳定性、晶圆取放的可靠性以及维护的便捷性的技术问题。

天眼查资料显示,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司,成立于2014年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本36715.6957万人民币。通过天眼查大数据分析,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司共对外投资了32家企业,参与招投标项目246次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息256条,此外企业还拥有行政许可46个。

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来源:市场资讯

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