蓝河科技取得基座处理设备及半导体加工系统专利，提高利用率
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2025-11-29 16:07:45
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国家知识产权局信息显示，蓝河科技（绍兴）有限公司取得一项名为“基座处理设备及半导体加工系统”的专利，授权公告号CN223598677U，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请提供一种基座处理设备和包含基座处理设备的半导体加工系统。基座处理设备包括主控装置、处理室和托运装置，托运装置通信连接主控装置以在主控装置控制下进入处理室内。托运装置设置的基座支撑装置包括若干位移机构呈放射状分布，每个位移机构顶部滑动设置支撑座，能够通过改变支撑座在位移机构上的位置，各支撑座顶面设置承载表面，并围成有能够通过面接触基座底面起到支撑作用的缓存区域，从而适用于承载不同尺寸的基座，在同一个基座支撑装置上实现对不同尺寸基座的承载能力，提高了利用率，不会产生因空载的基座支撑装置的缓存区域尺寸不合适而出现无法放置基座的情况，进而提高利用率。
天眼查资料显示，蓝河科技（绍兴）有限公司，成立于2020年，位于绍兴市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本431.028538万人民币。通过天眼查大数据分析，蓝河科技（绍兴）有限公司共对外投资了7家企业，财产线索方面有商标信息6条，专利信息52条。
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来源：市场资讯
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