国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司;华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“优化渐变浓度超结产品填充及击穿电压窗口的方法”的专利,公开号CN122602555A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明提供一种优化渐变浓度超结产品填充及击穿电压窗口的方法。该方法包括:在具有沟槽的半导体基底生长具第一浓度的第一掺杂外延层;通入蚀刻气体蚀刻;生长具第二浓度的第二掺杂外延层。其中两层浓度不同。本发明通过在浓度梯度切换间隙引入具有边缘增强特性的蚀刻工艺,增大沟槽顶部开口以扩大填充窗口,解决提前封口问题;同时利用边缘刻蚀速率大于中心速率的特性,针对性降低边缘区域的等效掺杂浓度,纠正因边缘结构偏差引起的电荷失衡。本发明能有效消除外延填充空洞,显著优化晶圆边缘的击穿电压分布,极大地拓宽了超结产品的击穿电压窗口,提升了功率器件的整体性能与制造良率。
天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2950次,专利信息2098条,此外企业还拥有行政许可119个。
华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目378次,专利信息252条,此外企业还拥有行政许可233个。
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来源:市场资讯
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