新紫光半导体取得炉管设备专利，保证晶圆的制备效率和质量_芯片

新紫光半导体取得炉管设备专利，保证晶圆的制备效率和质量

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2026-07-21 17:56:56

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国家知识产权局信息显示，成都新紫光半导体科技有限公司取得一项名为“炉管设备”的专利，授权公告号CN224534813U，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本公开涉及一种炉管设备，炉管设备包括炉管本体、第一测温元件、第二测温元件以及驱动机构；其中，第一测温元件可以设置在炉管本体内；第二测温元件可以用于测量晶圆的温度；驱动机构设置在炉管本体外，用于夹持第二测温元件，并能够带动第二测温元件在炉管本体内沿高度方向移动。本公开的第二测温元件可以通过驱动机构在炉管本体内沿高度方向稳定地移动，从而为第一测温元件提供准确地参考温度，进而保证了设置在炉管本体中的第一测温元件可以根据第二测温元件提供的温度数据准确地推导出晶圆的实际温度，保证了晶圆的制备效率和质量。

天眼查资料显示，成都新紫光半导体科技有限公司，成立于2022年，位于成都市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析，成都新紫光半导体科技有限公司专利信息121条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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